平面(miàn)度(dù)是(shì)屬于形位公(gōng)差中(zhōng)的(de)一(yī)種(zhǒng)，指物(wù)體(tǐ)表(biǎo)面(miàn)具有(yǒu)的(de)宏觀凹凸高(gāo)度(dù)相对(duì)理想(xiǎng)平面(miàn)的(de)偏差。在傳統的(de)檢測方(fāng)法(fǎ)中(zhōng)，平面(miàn)度(dù)的(de)測量(liàng)通(tòng)常有(yǒu)：塞規/塞尺測量(liàng)法(fǎ)、液平面(miàn)法(fǎ)、激光(guāng)平面(miàn)干(gàn)涉儀測量(liàng)法(fǎ)（平晶干(gàn)涉法(fǎ)）、水(shuǐ)平儀/數字(zì)水(shuǐ)平儀測量(liàng)法(fǎ)、以(yǐ)及(jí)打(dǎ)表(biǎo)測量(liàng)法(fǎ)。
塞尺測量(liàng)法(fǎ)，只(zhī)需一(yī)套(tào)可(kě)随身(shēn)攜带(dài)的(de)塞尺就(jiù)可(kě)随时(shí)随地(dì)進(jìn)行平面(miàn)度(dù)的(de)粗(cū)測。目前(qián)很多(duō)工廠(chǎng)仍使用(yòng)該方(fāng)法(fǎ)進(jìn)行檢測。由于其(qí)精度(dù)不高(gāo)，常規最(zuì)薄塞尺为(wèi)10um，檢測效率較低(dī)，結果(guǒ)不夠全(quán)面(miàn)，只(zhī)能檢測零(líng)件(jiàn)边缘。
液平面(miàn)法(fǎ)，基于连通(tòng)器工作原理，适合測量(liàng)连續或(huò)不连續的(de)大(dà)平面(miàn)的(de)平面(miàn)度(dù)，但測量(liàng)时(shí)間(jiān)长(cháng)，且(qiě)对(duì)温(wēn)度(dù)敏感(gǎn)，僅适用(yòng)于測量(liàng)精度(dù)較低(dī)的(de)平面(miàn)。
激光(guāng)平面(miàn)干(gàn)涉儀測量(liàng)法(fǎ)，最(zuì)典型的(de)用(yòng)法(fǎ)是(shì)平晶干(gàn)涉法(fǎ)。但主(zhǔ)要(yào)于測量(liàng)光(guāng)潔的(de)小平面(miàn)的(de)測量(liàng)，如(rú)手(shǒu)機(jī)平面(miàn)度(dù)測量(liàng)，手(shǒu)機(jī)中(zhōng)框平面(miàn)度(dù)測量(liàng)，量(liàng)規的(de)工作面(miàn)，光(guāng)學(xué)透鏡(jìng)。
水(shuǐ)平儀測量(liàng)法(fǎ)，廣泛用(yòng)于工件(jiàn)表(biǎo)面(miàn)的(de)直(zhí)線(xiàn)度(dù)和(hé)平面(miàn)度(dù)測量(liàng)。測量(liàng)精度(dù)高(gāo)、穩定(dìng)性(xìng)好(hǎo)、體(tǐ)積小、攜带(dài)方(fāng)便。但是(shì)用(yòng)該方(fāng)法(fǎ)測量(liàng)时(shí)需要(yào)反(fǎn)複挪動(dòng)儀器位置，記(jì)录(lù)各(gè)測點(diǎn)的(de)數據(jù)，費时(shí)、費力，調整时(shí)間(jiān)长(cháng)，數據(jù)處(chù)理程序繁瑣。
打(dǎ)表(biǎo)測量(liàng)法(fǎ)，典型應(yìng)用(yòng)为(wèi)平闆測微儀及(jí)三(sān)坐标(biāo)儀，其(qí)中(zhōng)優以(yǐ)三(sān)坐标(biāo)儀为(wèi)應(yìng)用(yòng)最(zuì)廣泛。測量(liàng)时(shí)指示器在待測樣(yàng)品上(shàng)移動(dòng)，按選定(dìng)的(de)布(bù)點(diǎn)測取(qǔ)各(gè)測量(liàng)點(diǎn)相对(duì)于測量(liàng)基準的(de)數據(jù)，再經(jīng)过(guò)數據(jù)處(chù)理評定(dìng)出(chū)平面(miàn)度(dù)誤差。但其(qí)效率較低(dī)，通(tòng)常一(yī)个(gè)樣(yàng)品需要(yào)幾(jǐ)分(fēn)鐘(zhōng)，離15ppm的(de)期(qī)望相差甚远。