平面(miàn)度(dù)測量(liàng)誤差測量(liàng)的(de)常用(yòng)方(fāng)法(fǎ)
浏覽次(cì)數：7086 發(fà)布(bù)时(shí)間(jiān)：2021-07-01 10:33:20
平面(miàn)度(dù)是(shì)形位公(gōng)差之一(yī)，是(shì)指基闆所(suǒ)具有(yǒu)的(de)宏觀凹凸高(gāo)度(dù)相对(duì)理想(xiǎng)平面(miàn)的(de)偏差。以(yǐ)下(xià)主(zhǔ)要(yào)介紹平面(miàn)度(dù)的(de)檢平面(miàn)度(dù)的(de)定(dìng)義。
平面(miàn)度(dù)是(shì)指基片(piàn)所(suǒ)具有(yǒu)的(de)宏觀凹凸高(gāo)度(dù)相对(duì)理想(xiǎng)平面(miàn)的(de)偏差。平面(miàn)的(de)平面(miàn)度(dù)公(gōng)差符号(hào)，基本(běn)表(biǎo)示方(fāng)法(fǎ)，如(rú)下(xià)图(tú)所(suǒ)示。
平面(miàn)度(dù)誤差是(shì)指被(bèi)測實(shí)際表(biǎo)面(miàn)对(duì)其(qí)理想(xiǎng)表(biǎo)面(miàn)的(de)波(bō)動(dòng)量(liàng)，理想(xiǎng)平面(miàn)的(de)位置應(yìng)符合最(zuì)小条(tiáo)件(jiàn)，平面(miàn)度(dù)誤差屬于形位誤差中(zhōng)的(de)形狀誤差。
平面(miàn)度(dù)誤差測量(liàng)的(de)常用(yòng)方(fāng)法(fǎ)如(rú)下(xià)
1、液面(miàn)法(fǎ):液面(miàn)法(fǎ)以(yǐ)液面(miàn)为(wèi)測量(liàng)基準面(miàn)，液面(miàn)由连通(tòng)罐(guàn)內(nèi)的(de)液面(miàn)構成(chéng)，用(yòng)傳感(gǎn)器測量(liàng)。該方(fāng)法(fǎ)主(zhǔ)要(yào)用(yòng)于測量(liàng)大(dà)平面(miàn)的(de)平面(miàn)度(dù)誤差。
2、激光(guāng)平面(miàn)度(dù)測量(liàng)儀:激光(guāng)平面(miàn)度(dù)測量(liàng)儀用(yòng)于測量(liàng)大(dà)型平面(miàn)的(de)平面(miàn)度(dù)誤差。
3、平晶干(gàn)涉法(fǎ):用(yòng)光(guāng)學(xué)平晶的(de)工作面(miàn)表(biǎo)現(xiàn)理想(xiǎng)的(de)平面(miàn)，直(zhí)接根(gēn)據(jù)干(gàn)涉条(tiáo)紋的(de)彎曲程度(dù)确定(dìng)被(bèi)測量(liàng)表(biǎo)面(miàn)的(de)平面(miàn)度(dù)誤差值。主(zhǔ)要(yào)用(yòng)于測量(liàng)小平面(miàn)，如(rú)測量(liàng)規定(dìng)的(de)工作面(miàn)和(hé)千(qiān)分(fēn)尺头(tóu)測量(liàng)面(miàn)的(de)平面(miàn)度(dù)誤差。
4、光(guāng)束(shù)平面(miàn)法(fǎ):光(guāng)束(shù)平面(miàn)法(fǎ)采用(yòng)基準值望远鏡(jìng)和(hé)目标(biāo)鏡(jìng)測量(liàng)，選擇實(shí)際表(biǎo)面(miàn)上(shàng)最(zuì)远的(de)3點(diǎn)形成(chéng)的(de)光(guāng)束(shù)平面(miàn)作为(wèi)平面(miàn)度(dù)誤差的(de)測量(liàng)基準面(miàn)。
5、鐘(zhōng)表(biǎo)測量(liàng)法(fǎ):鐘(zhōng)表(biǎo)測量(liàng)法(fǎ)将被(bèi)測量(liàng)零(líng)件(jiàn)和(hé)微計(jì)放(fàng)在标(biāo)準平闆上(shàng)，以(yǐ)标(biāo)準平闆为(wèi)測量(liàng)基準面(miàn)，用(yòng)微計(jì)沿實(shí)際表(biǎo)面(miàn)逐點(diǎn)或(huò)沿幾(jǐ)条(tiáo)直(zhí)線(xiàn)方(fāng)向(xiàng)測量(liàng)。鐘(zhōng)表(biǎo)測量(liàng)法(fǎ)根(gēn)據(jù)評價基準面(miàn)分(fēn)为(wèi)3點(diǎn)法(fǎ)和(hé)对(duì)角(jiǎo)線(xiàn)法(fǎ):3點(diǎn)法(fǎ)根(gēn)據(jù)測量(liàng)實(shí)際表(biǎo)面(miàn)上(shàng)最(zuì)远的(de)3點(diǎn)決定(dìng)的(de)理想(xiǎng)平面(miàn)作为(wèi)評價基準面(miàn)，實(shí)際測量(liàng)时(shí)将測量(liàng)實(shí)際表(biǎo)面(miàn)上(shàng)最(zuì)远的(de)3點(diǎn)調整到(dào)與(yǔ)标(biāo)準平闆等高(gāo)度(dù)的(de)对(duì)角(jiǎo)線(xiàn)法(fǎ)實(shí)際測量(liàng)时(shí)，将實(shí)際表(biǎo)面(miàn)的(de)4个(gè)角(jiǎo)點(diǎn)根(gēn)據(jù)对(duì)角(jiǎo)線(xiàn)調整到(dào)2等高(gāo)度(dù)。然後(hòu)用(yòng)測量(liàng)儀測量(liàng)，測量(liàng)儀在整个(gè)實(shí)際表(biǎo)面(miàn)測量(liàng)的(de)最(zuì)大(dà)變(biàn)動(dòng)量(liàng)是(shì)該實(shí)際表(biǎo)面(miàn)的(de)平面(miàn)度(dù)誤差。
6、如(rú)何利用(yòng)數據(jù)采集器连接百(bǎi)分(fēn)表(biǎo)測量(liàng)平面(miàn)度(dù)誤差。
測量(liàng)儀器:鐘(zhōng)摆、百(bǎi)分(fēn)比表(biǎo)、數據(jù)收(shōu)集儀。
優勢:優勢:
1)不需要(yào)人工用(yòng)肉(ròu)眼(yǎn)閱读(dú)，可(kě)以(yǐ)減少(shǎo)人工閱读(dú)産生(shēng)的(de)誤差
2)無需人工處(chù)理數據(jù)，數據(jù)收(shōu)集器自(zì)動(dòng)計(jì)算平面(miàn)度(dù)誤差值。
3)測量(liàng)結果(guǒ)通(tòng)報，測量(liàng)結果(guǒ)不在平面(miàn)度(dù)公(gōng)差带(dài)时(shí)，數據(jù)收(shōu)集器会(huì)自(zì)動(dòng)通(tòng)報。
