3D測量(liàng)設備
浏覽次(cì)數：11537 發(fà)布(bù)时(shí)間(jiān)：2021-06-11 13:44:24
應(yìng)用(yòng)領域
本(běn)設備主(zhǔ)要(yào)用(yòng)于超精密電(diàn)子元(yuán)件(jiàn)的(de)平面(miàn)尺寸(cùn)、高(gāo)度(dù)、深度(dù)、形位公(gōng)差尺寸(cùn)測量(liàng)，采用(yòng)3D線(xiàn)掃激光(guāng)傳感(gǎn)器对(duì)平面(miàn)度(dù)進(jìn)行掃描測量(liàng)，可(kě)对(duì)複雜表(biǎo)面(miàn)重(zhòng)建基準面(miàn)求差，搭配CCD视觉定(dìng)位，采用(yòng)高(gāo)分(fēn)辩(biàn)率相機(jī)+环(huán)形表(biǎo)面(miàn)光(guāng)+同(tóng)軸光(guāng)；
優勢
* 可(kě)搭载(zài)多(duō)品牌(pái)激光(guāng)3D線(xiàn)掃傳感(gǎn)器，可(kě)選配激光(guāng)共(gòng)焦傳感(gǎn)器，对(duì)特(tè)殊表(biǎo)面(miàn)進(jìn)行高(gāo)度(dù)采集；
* 激光(guāng)3D掃描采集參數根(gēn)據(jù)特(tè)定(dìng)産品最(zuì)優化(huà)參數，自(zì)研濾噪算法(fǎ)，經(jīng)过(guò)行業多(duō)種(zhǒng)産品验(yàn)證；
* 行業首创，XY二(èr)维插補掃描，補正(zhèng)放(fàng)料角(jiǎo)度(dù)與(yǔ)掃描軸不平行引起(qǐ)的(de)誤差；
* 平面(miàn)區(qū)域分(fēn)段(duàn)補償功能，減小軸直(zhí)線(xiàn)度(dù)誤差影響；
* 高(gāo)精度(dù)運動(dòng)部件(jiàn)＋全(quán)局(jú)标(biāo)定(dìng)補償，XYZ重(zhòng)複精度(dù)0.005mm
主(zhǔ)要(yào)參數
1、檢測功能：測量(liàng)深度(dù)、元(yuán)件(jiàn)台(tái)階(jiē)、平面(miàn)度(dù)、位置度(dù)等
2、檢測效率：根(gēn)據(jù)産品表(biǎo)面(miàn)确定(dìng)（3维）
3、分(fēn)辩(biàn)率：2 um
4、工作台(tái)尺寸(cùn)： 500 x 400 mm 可(kě)支持(chí)双(shuāng)平面(miàn)定(dìng)制
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