應(yìng)用(yòng)領域

本(běn)設備主(zhǔ)要(yào)用(yòng)于超精密元(yuán)件(jiàn)的(de)高(gāo)度(dù)、深度(dù)尺寸(cùn)測量(liàng)，采用(yòng)激光(guāng)共(gòng)焦檢測傳感(gǎn)器对(duì)各(gè)類(lèi)盲孔深度(dù)、元(yuán)件(jiàn)台(tái)階(jiē)、平面(miàn)度(dù)進(jìn)行精密測量(liàng)，可(kě)对(duì)複雜表(biǎo)面(miàn)重(zhòng)建基準面(miàn)求差，搭配CCD视觉定(dìng)位，自(zì)動(dòng)上(shàng)下(xià)料快速定(dìng)點(diǎn)檢測，可(kě)代(dài)替光(guāng)學(xué)三(sān)次(cì)元(yuán)；

優勢

*   可(kě)搭载(zài)多(duō)品牌(pái)激光(guāng)共(gòng)焦傳感(gǎn)器、3D線(xiàn)掃傳感(gǎn)器，速度(dù)/精度(dù)可(kě)選；
*   激光(guāng)共(gòng)聚焦掃描參數針(zhēn)对(duì)深孔采集最(zuì)優化(huà)，自(zì)研濾噪算法(fǎ)，經(jīng)过(guò)行業验(yàn)證；
*   行業首创，OK/NG複檢路(lù)徑多(duō)樣(yàng)化(huà)，XY二(èr)维插補掃描，避免孔內(nèi)偏針(zhēn)，PCB来(lái)料偏移，輕(qīng)微氧化(huà)等引起(qǐ)的(de)誤報；
*   最(zuì)大(dà)化(huà)孔徑深比：1比10；
*   PCB平面(miàn)區(qū)域分(fēn)段(duàn)補償功能，減小PCB闆彎誤差影響，偏差过(guò)大(dà)報警功能；
*   高(gāo)精度(dù)運動(dòng)部件(jiàn)＋全(quán)局(jú)标(biāo)定(dìng)補償，XYZ重(zhòng)複精度(dù)0.01mm，滿足1.4米(mǐ)大(dà)闆双(shuāng)头(tóu)掃描檢測；
*   搭载(zài)複檢相機(jī)，人工可(kě)實(shí)时(shí)觀察孔內(nèi)針(zhēn)腳(jiǎo)有(yǒu)無；

主(zhǔ)要(yào)參數

1、檢測功能：測量(liàng)盲孔深度(dù)、元(yuán)件(jiàn)台(tái)階(jiē)、平面(miàn)度(dù)、位置度(dù)等
2、檢測效率：激光(guāng)共(gòng)焦掃描速度(dù) MAX 40mm/s（1维）
3、分(fēn)辩(biàn)率：0.01 um
4、平面(miàn)尺寸(cùn)： 1400 x 610 mm (双(shuāng)工位)

測量(liàng)原理

1、彩色(sè)激光(guāng)光(guāng)源發(fà)射出(chū)一(yī)束(shù)高(gāo)密度(dù)宽(kuān)光(guāng)谱光(guāng)，通(tòng)过(guò)色(sè)散(sàn)鏡(jìng)头(tóu)後(hòu)，在量(liàng)程範圍內(nèi) 形成(chéng)不同(tóng)波(bō)长(cháng)的(de)單色(sè)光(guāng)，每个(gè)波(bō)长(cháng)对(duì)應(yìng)一(yī)个(gè)距離值。測量(liàng)光(guāng)射到(dào)物(wù)體(tǐ)表(biǎo)面(miàn)反(fǎn)射回(huí)来(lái)，只(zhī)有(yǒu)滿足 共(gòng)聚焦条(tiáo)件(jiàn)的(de)光(guāng)，可(kě)以(yǐ)通(tòng)过(guò)小孔被(bèi)光(guāng)谱儀感(gǎn)測到(dào)，通(tòng)过(guò)計(jì)算被(bèi)感(gǎn)測到(dào)光(guāng)的(de)焦點(diǎn)的(de)波(bō)长(cháng)，換算获得距離值。
2、通(tòng)过(guò)CCD定(dìng)位引導激光(guāng)共(gòng)聚焦头(tóu)不停掃描，得到(dào)每行截面(miàn)數據(jù)。

截面(miàn)數據(jù)图(tú)示

測量(liàng)原理

應(yìng)用(yòng)场(chǎng)景